В научном дивизионе госкорпорации «Росатом» совершен значительный технологический прорыв. Специалисты АО «НИИ НПО «ЛУЧ» разработали и создали полную цепочку оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама (WF6) – ключевого материала для современных высокотехнологичных отраслей. Эта новость, озвученная пресс-службой «Росатом Наука», знаменует важный шаг на пути к технологической независимости России.
От лаборатории к производству: завершен научный этап
АО «НИИ НПО «ЛУЧ», являясь флагманом атомной науки в составе «Росатома», в кооперации с ведущими российскими научными центрами и промышленными партнерами успешно завершил создание комплекса технологического и аналитического оборудования. Этот комплекс охватывает всю производственную цепочку – от получения сырья до финального контроля качества сверхчистого WF6. Чистота конечного продукта достигает впечатляющих 99,999 массового процента – уровня, необходимого для самых требовательных применений.
«Уже сегодня изготовлены и функционируют лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, а также опытная установка ректификационной очистки, – пояснил генеральный директор АО «НИИ НПО «ЛУЧ» Павел Карболин. – Параллельно завершены разработка и аттестация высокоточных методик измерений, позволяющих детектировать малейшие следы газовых и металлических примесей в готовом продукте».
Фокус на импортозамещение и суверенитет
Научно-технические достижения «ЛУЧа» имеют стратегическое значение. «Наши разработки вносят существенный вклад в развитие импортозамещения критически важных материалов и технологий, – подчеркнул Карболин. – Это прямой путь к укреплению технологического суверенитета нашей страны, снижению зависимости от иностранных поставок в чувствительных отраслях».
Зачем нужен сверхчистый WF6? Критичность для микроэлектроники и не только
Особо чистый гексафторид вольфрама – не просто химическое соединение, а материал стратегического значения. Его основное применение лежит в сердце современной микроэлектроники:
- Производство полупроводников: WF6 используется в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD) для нанесения тончайших металлических слоев вольфрама. Эти слои выполняют роль проводящих дорожек и контактов внутри микросхем.
- Ключевые свойства вольфрамовых слоев: Слои, полученные из WF6, обладают уникальными характеристиками: высокая химическая стабильность, термостойкость (необходима для высокотемпературных процессов производства чипов), низкое электрическое сопротивление и способность служить эффективным барьером/защитой для нижележащих слоев схемы.
Помимо микроэлектроники, гексафторид вольфрама находит применение в других областях прецизионных технологий:
- Газофазная металлургия: Методом водородного восстановления WF6 получают высокочистый порошкообразный вольфрам, а с использованием химических транспортных реакций – монокристаллы или специальные покрытия с особыми свойствами. Это важно для аэрокосмической отрасли, медицины, оборонной промышленности.
Следующий шаг: строительство первого российского производства
Создание полной технологической цепочки – это фундамент. Сейчас «НИИ НПО «ЛУЧ» переходит к практической реализации: начато проектирование и строительство первого в России специализированного производственного участка для выпуска особо чистого гексафторида вольфрама в промышленных масштабах. Это позволит обеспечить потребности отечественной промышленности в этом критическом материале.
Научная кооперация: сила в единстве
Успех проекта – результат консолидации усилий ведущих российских научных и инженерных школ. В работах активно участвовали:
- Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (НИУ ННГУ)
- Компания ООО «Ферри Ватт»
- Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук (ИХВВ РАН)
- Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ)
Финансовая и организационная поддержка проекта осуществлялась в рамках государственного контракта с Министерством промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг РФ) в период 2023-2024 годов.
О АО «НИИ НПО «ЛУЧ»: ядерные технологии и не только
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение «ЛУЧ» – ключевое предприятие научного дивизиона Госкорпорации «Росатом». Основная миссия института – обеспечение атомной отрасли:
- Разработка и производство тепловыделяющих элементов (ТВЭЛ) и тепловыделяющих сборок (ТВС) для различных типов ядерных энергетических установок.
- Создание инновационных топливных композиций для ТВЭЛов нового поколения, повышающих безопасность и эффективность АЭС.
Разработка технологии производства сверхчистого гексафторида вольфрама демонстрирует способность предприятия решать сложнейшие задачи и за пределами традиционной атомной сферы, внося вклад в технологическое развитие страны в целом.
Заключение
Создание российской полной цепочки для производства сверхчистого гексафторида вольфрама и начало строительства первого национального производства – это знаковое событие. Оно не только закрывает критическую зависимость в области материалов для микроэлектроники и прецизионных технологий, но и укрепляет позиции России как государства, способного разрабатывать и внедрять самые передовые, наукоемкие технологии. Этот успех «Росатома» и его партнеров – реальный вклад в технологический суверенитет и будущее отечественной высокотехнологичной промышленности.
